Горнев Евгений Сергеевич (род. 4 августа 1943 года)

Советский и российский учёный, специалист в области микро- и наноэлектроники, метрологического обеспечения измерений длины в микрометровом и нанометровом диапазонах. Доктор технических наук, профессор, член-корреспондент РАН (2019). Заместитель руководителя приоритетного технологического направления по электронным технологиям АО «НИИ молекулярной электроники»

В 1966 году окончил радиофизический факультет Харьковского государственного университета. В том же году пришел на работу в НИИ молекулярной электроники, где прошел путь от инженера до первого заместителя директора НИИМЭ. В 1967 году входил в состав коллектива, разработавшего интегральную микросхему (ИС) токового ключа «Иртыш» (101КП1), с которой начинались все каталоги советских ИС. Автор и соавтор более 300 научных работ, из них 3-х учебных пособий, и 42 авторских свидетельств и/или патентов.

Е.С. Горнев обобщил, научно обосновал и разработал технические решения для создания современного микроэлектронного производства, на основе чего создал модель промышленной субмикронной технологии как системы и систему управления микроэлектронным производством. Под его руководством и с его непосредственным участием разработаны решения многовариантной технологии КМОП, биполярных и БиКМОП на базе универсального маршрута, с достоинствами биполярных и КМОП микросхем, создана система управления на основе мониторинга техпроцесса, контроля дефектности и методов статрегулирования, исследованы, обоснованы и созданы методы контроля линейных размеров элементов СБИС микро- и нанометрового диапазонов с созданием универсальной линейной меры мирового уровня; создано, модернизировано и внедрено более 40 различных вариантов технологий, разработаны с одновременной постановкой на производство в процессе ОКР более 50 типов микросхем, модернизировано более 100 типов, организовано производство 87 серий микросхем; разработана и освоена промышленная технология сегнетоэлектрических плёнок для микро- и наносистемной техники и изделий на их основе, изделий пьезотехники, акустоэлектроники, совместимых с технологиями микро- и наноэлектроники и МЭМС.

Вел преподавательскую деятельность в МИЭТ, МИРЭА.,В настоящее время — профессор и заместитель заведующего базовой кафедры «микро- и наноэлектроника» МФТИ.

Член редколлегии журналов «Микроэлектроника», «Микро- и наносистемная техника», «Электронная техника. Серия 3. Микроэлектроника».

Член научного Совета «Квантовые технологии» при президиуме РАН и научного Совета «Фундаментальные проблемы элементной базы информационно-вычислительных систем и материалов для её создания» ОНИТ РАН, председатель 4-х диссертационных советов МФТИ, член диссертационного совета при ИПТМ РАН.

Лауреат Государственной премии СССР (1986), дважды лауреат премии Правительства РФ в области науки и техники (2004,2019). Награжден орденом Дружбы народов (1982). Почетный работник электронной промышленности.